潔凈型直交機器人 XY-XC(2～4軸)
潔凈型直交機器人XY-XC是直交機器人中可以在無塵室使用的機型。
采用耐久性的不銹鋼板，使開口部的設(shè)計達到min，以少量的吸氣即可實現(xiàn)非常高的潔凈度。
潔凈度 ：相當于等級10(ISO25644-1)
※每1cf為0.1μm，使用抽風機時。
潔凈度：CLASS10
抽吸量：60～90N?/min
大的搬運重量：20kg
高速度可達：1000mm/sec
※用戶配線: D-Sub 25PIN 連接器(1-24號已接線、25號為機架地線)
※用戶配管: 3根6空氣軟管
